您的位置首页百科知识 荷兰光刻机多少钱一台? Simone 发布于 2024-07-06 09:47:51 544 阅读 荷兰阿斯麦尔公司的euv光刻机售价大约1.5亿欧元,不过要说明的是并没有5纳米光刻机,euv光刻机目前处于第一代,也就是13.5纳米极紫外光光源波长本身就是euv光刻机的精度,只不过台积电和三星通过技术使其能够加工出5nm芯片甚至更高制程。荷兰阿斯麦尔euv光刻机非常昂贵,每台售价差不多1.5亿欧元。